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氣體是電子工業(yè)的“血液”，尤其在半導(dǎo)體、光伏、光纖、顯示器等行業(yè)中是關(guān)鍵性材料。例如，在集成電路制造中氣體的占比僅次于硅片，占晶圓制造成本的13%。主要應(yīng)用于薄膜、刻蝕、摻雜、氣相沉積、擴(kuò)散等工藝。電子工業(yè)涉及的氣體品種繁多，用途五花八門，...

質(zhì)量流量計(jì)MFM、流量控制器MFC、以及電子壓力控制器EPC是精度較高的流量儀表，在科研、醫(yī)療、食品、半導(dǎo)體及各行業(yè)工業(yè)領(lǐng)域有廣泛應(yīng)用。大多數(shù)工業(yè)應(yīng)用的流量儀表產(chǎn)品是通過電流或電壓模擬信號，或者數(shù)字通訊（Modbus、Devicenet，P...

質(zhì)量流量控制器不僅能檢測總流量，并且能在檢測時(shí)自動(dòng)控制總流量?？蛻裟芨鶕?jù)本身的所需設(shè)置總流量。一般來說，這種質(zhì)量流量計(jì)僅用作流量測量或監(jiān)測。該流量控制器采用毛細(xì)管傳熱溫差熱法原理檢測氣體質(zhì)量流量（無氣溫和負(fù)擔(dān)應(yīng)對）。傳感器受熱橋測得的總流量...

本文所述的小口徑、微小流量液體流量控制器是指流道管徑小于2”，流量小于2500Kg/h的小流量；尤其是對管徑更小，而流量小于1Kg/h，或者1000ml/h的更小流量的控制。對于液體流量計(jì)（只測流量，不控制流量），市場上的種類很多，但是可以...

質(zhì)量流量控制器（MFC）在控制氣體流量時(shí)，由于需要通過控制流量控制閥的開度實(shí)現(xiàn)流量控制，所以需要滿足一定的壓差條件（即其進(jìn)氣端壓力要比出氣端壓力大一定的數(shù)值），需要控制的流量越大，需要流量控制閥的開度就越大，這個(gè)壓差值就需要越大（即當(dāng)其出口...

氣體和液體是工業(yè)生產(chǎn)或科研實(shí)驗(yàn)常用的流體，在實(shí)際應(yīng)用過程中經(jīng)常需要用到流體的流量來代表流體量的多少，并且使用體積流量單位較多，尤其是氣體，但是氣體的體積受到溫度和壓力的影響會(huì)比較大。而實(shí)際應(yīng)用時(shí)，工況變化是比較復(fù)雜的，同一段管路可能不同位置...