一、密閉容器進(jìn)氣排氣專用雙閥壓力控制器EPCD產(chǎn)品概述：

-- ACU20PCD雙閥壓力控制器集成兩個電磁閥，進(jìn)氣閥將過程氣體引入腔體，保持密閉空間的壓力，壓力過高時，泄

壓閥自行打開進(jìn)行泄壓，快速精準(zhǔn)地控制壓力的穩(wěn)定，同時避免氣體浪費。無需使用排氣閥便能實現(xiàn)密閉或者端閉容器內(nèi)

的壓力控制。

 -- ACU20PCD雙閥壓力控制器標(biāo)配一個壓力傳感器和數(shù)字電路板，提供高精度、快速穩(wěn)定、可靠的壓力控制，該PC數(shù)

字板具有控制壓力所需的所有功能。除了配備標(biāo)準(zhǔn)的RS485輸出信號，還提供模擬量輸入/出信號，可通過調(diào)節(jié)設(shè)定值就

能精準(zhǔn)的控制整個工藝過程。同時，可觸控顯示屏使操作更加便捷。

  -- ACU20PCD雙閥壓力控制器可裝配一體式控制閥或分體式控制閥。它是一種比例式電磁控制閥，具有超快和平穩(wěn)控

制的特性。我們有不同系列的控制閥對應(yīng)特定的應(yīng)用領(lǐng)域。常規(guī)應(yīng)用使用標(biāo)準(zhǔn)的直接操控閥，高流速應(yīng)用使用先導(dǎo)閥，穩(wěn)

壓和泄壓應(yīng)用雙閥。

二、產(chǎn)品應(yīng)用：

應(yīng)用領(lǐng)域：半導(dǎo)體生產(chǎn)、科研實驗、生物醫(yī)藥、能源化工、泄漏測試、燃料電池、真空鍍膜及過程控制等。

三、密閉容器進(jìn)氣排氣專用雙閥壓力控制器EPCD 產(chǎn)品參數(shù)：（ 如所需性能參數(shù)與下述不同，請溝通定制。）