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簡(jiǎn)要描述:高精度低壓損質(zhì)量流量控制器MFC及流量計(jì): ACU20FDR高精度低壓差氣體質(zhì)量流量控制器,配備專有的高流通能力電磁閥門,適用于在幾乎沒有可用系統(tǒng)壓力的情況下控制質(zhì)量流量,低壓差將保證對(duì)系統(tǒng)產(chǎn)生最小影響,實(shí)現(xiàn)接近大氣壓力條件下的流量控制并縮短系統(tǒng)響應(yīng)時(shí)間。 我們將根據(jù)您的應(yīng)用參數(shù),為您定制閥門和PID調(diào)節(jié)功能,確保在保持低壓損的同時(shí)實(shí)現(xiàn)快速、穩(wěn)定的控制。
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一、高精度低壓損質(zhì)量流量控制器MFC及流量計(jì) 產(chǎn)品概述:
配備專有的高流通能力電磁閥門,適用于在幾乎沒有可用系統(tǒng)壓力的情況下控制質(zhì)量流量,低壓差將
保證對(duì)系統(tǒng)產(chǎn)生最小影響,實(shí)現(xiàn)接近大氣壓力條件下的流量控制并縮短系統(tǒng)響應(yīng)時(shí)間。
我們將根據(jù)您的應(yīng)用參數(shù),為您定制閥門和PID調(diào)節(jié)功能,確保產(chǎn)品能夠在保持低壓損的同時(shí)實(shí)現(xiàn)快
速、穩(wěn)定的控制。
二、產(chǎn)品應(yīng)用:
真空鍍膜 / 太陽能、氫能等新能源 / 半導(dǎo)體 / 石油石化精細(xì)化工 / 電力冶金
環(huán)保 / 食品包裝 / 生物醫(yī)藥 / 新材料 / 工業(yè)制作 / 各種分析儀器 / 制氣配氣系統(tǒng)
三、高精度低壓損質(zhì)量流量控制器MFC及流量計(jì) 產(chǎn)品參數(shù):
滿量程范圍:2SCCM~6000SLM
準(zhǔn) 確 度:±0.5%F.S
線 性:±0.5%F.S
重復(fù)精度:±0.2%F.S
響應(yīng)時(shí)間:流量計(jì):<0.1s ;流量控制器:<0.2s
數(shù) 字 量:RS232/485,MODBUS協(xié)議
模 擬 量:0~5V、4-20mA、1~5V
供 電:±15VDC,24VDC
工作溫度:0~50℃
工作壓降:<0.01Mpa(流量計(jì))
工作壓差:0.1~0.5Mpa (流量控制器)
耐 壓:3MPa/10MPa
漏 率:1×10-9SCCSHe
溫度系數(shù):±0.025%F.S/℃
底座材質(zhì):不銹鋼
密封材質(zhì):氟橡膠,氯丁橡膠,丁腈橡膠,聚四氟乙烯,F(xiàn)FKM/FFPM等
接 頭:φ3,φ6,1/8",1/4",3/8",1/2",1"… …卡套、法蘭、快插、寶塔等。。。
如果所需性能要求與上述性能不同,請(qǐng)另行溝通定制。
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